气相离子处理技术是1985年首次引入的。在钎焊修补燃汽轮机合金零件的裂纹或其他损伤前，需利用气相离子清洗系统来预处理零件。现如今，该技术已经发展成为加工与修复高温燃汽轮机部件的主要手段。该工艺灵活可控，结果可靠，可以去除多种氧化皮和污染，且不损伤零部件材料。除了清洗功能外，该工艺还可用来去除各种涂层。
在这个清洗工艺过程中，零部件暴露在1000℃下的高纯度氟化氢（HF）和氢气之中，氟离子与氧化物、硫化物、碳化物以及金属（钛、铝和钇）反应而形成氟化物，而氧和氢则反应后形成水蒸气。氟化物和水被吹出炉膛，从而可以得到高清洁度表面的零部件，以进行下一步的钎焊或者焊接。
该清洗系统适用于大部分的燃气轮机零件清洗.
如：
空气涡管
轴承支撑面
轴承支架
燃烧室
ICT叶片
内燃烧筒
箍环组件
收缩片
喷射嘴弧面
发动机匣
喷油嘴
高压涡轮喷嘴
低压涡轮喷嘴
喷嘴弧面
外部气密封件
转子
箍环壳
箍环
静子壳
静子
叶片弧面
叶片
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